半導體光學產品
盲槽
技術規(guī)格
| Venting Channels Product Size（盲槽產品尺寸） | 參數詳情 |
|---|---|
| venting channels width size（槽寬尺寸精度） | ±5 μm |
| venting channels depth size（槽深尺寸精度） | 150±30 μm （one example, @0.6mm T, 單面開槽) |
| Double face venting channels Position tolerance（雙面開槽對位精度） | ±25μm |
| Position tolerance（位置度公差） | ≤ 5 μm |
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